光學微電子凈化工程

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光學微電子凈化工程

適應行業(yè)：LED照明、眼鏡、激光、紅外、顯微鏡     

建議等級：100級-10萬級

電子無塵凈化車間

千級半導體封裝無塵車間

光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設計之密閉空間。

光學微電子凈化工程亦名無塵室或潔凈室，已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。由于技術之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。

微電子無塵車間一角

電子無塵凈化車間

光學微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)

電子無塵凈化車間

光學微電子凈化工程凈化原理：

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。

光學微電子凈化工程凈化參數(shù)：

換氣次數(shù)：100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

電子無塵車間檢測

光學微電子凈化工程結構材料：

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

激光設備生產(chǎn)潔凈車間

激光設備生產(chǎn)潔凈車間

激光設備生產(chǎn)潔凈車間

光學微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設計過程中，應加強對光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。

1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

優(yōu)點：

A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車間的噪音低。

缺點：

A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調(diào)機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30┫的機房的;

B.造價高。

方案特點：

A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

2、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風柜+高效送風口

與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。

方案特點：

這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

3、分體空調(diào)柜機+FFU送風口

這是最簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。

方案特點：

A、無塵車間的潔凈度：LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

C、新風量大

D、送風量大

凈化車間機電設備

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凈化工程空調(diào)設備

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