微電子工業(yè)凈化工程

微電子工業(yè)凈化工程與微電子行業(yè)本身一樣是對(duì)潔凈室要求很高的行業(yè)。隨著大規(guī)模集成電路(LSI)和VLS1的發(fā)展，微電子工業(yè)凈化工程對(duì)粉塵控制的要求也是越來(lái)越高。在IC制造過(guò)程中，集成度越高，圖形尺寸(以線寬表示)越薄，潔凈室受控粒度尺寸越小(通常為線寬的1/10)，粉塵含量越低。此外，現(xiàn)代工業(yè)液晶、光纖生產(chǎn)，對(duì)微電子工業(yè)凈化工程潔凈度要求也很高。

微電子工業(yè)凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給與特別設(shè)計(jì)的密閉空間。

微電子工業(yè)凈化工程也稱無(wú)塵室或清凈室，已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。微電子工業(yè)凈化工程由于技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型集成電路的研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目。