半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工要求

這個(gè)表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級(jí)要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好，這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì)，或者對(duì)生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。還有濕度控制，濕度控制主要通過循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng)，去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱，最終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制，溫度的控制目的有兩個(gè)，首先是人員的舒適性，溫度在21-23度都沒有問題，作為制程來說我們關(guān)注的是波動(dòng)性。控制潔凈房的濕度主要目的是濕度過低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過高，對(duì)產(chǎn)品的影響。第二點(diǎn)是正壓，通過潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓，靜壓層保持微正壓。

再來就是照度和噪聲，這個(gè)部分在新的標(biāo)準(zhǔn)里面有詳細(xì)的描述，這里不具體講了。因?yàn)楝F(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來越大，安裝起來一部分照明會(huì)被遮掩，噪聲的問題比較難解決，主要在設(shè)備選型的時(shí)候注意。接下來是靜電控制的問題(ESD)，這個(gè)本身會(huì)造成產(chǎn)品的損害或者設(shè)備的損害，半導(dǎo)體有ESD的標(biāo)準(zhǔn)。

無錫一凈凈化設(shè)備有限公司在各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域工程建設(shè)的道路上繼續(xù)堅(jiān)持以科技為向?qū)?，以質(zhì)量為準(zhǔn)則，以客戶滿意為宗旨，嚴(yán)格遵守和落實(shí)ISO9001:2000標(biāo)準(zhǔn)、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》以及專業(yè)規(guī)范要求，全過程項(xiàng)目管控，以項(xiàng)目類型為定調(diào)，定制化項(xiàng)目設(shè)計(jì)、實(shí)施的全產(chǎn)業(yè)化流程，解決客戶痛點(diǎn)，憑借自身的技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)為客戶提供完備的環(huán)境控制工程整體系統(tǒng)集成解決方案的專業(yè)服務(wù)。